本發(fā)明涉及一種檢測氫氣的氣敏元件制備方法,將超聲波和低溫陳化技術(shù)運(yùn)用到鋅鹽、錫鹽的絡(luò)合效應(yīng)與化學(xué)共沉淀制備納米ZnSnO3。本發(fā)明是在納米ZnSnO3的基礎(chǔ)上,摻雜貴金屬鹽PdCl2、粘接劑(正硅酸乙脂)和去離子水,通過研磨、超聲波震蕩、涂料、燒結(jié)等工藝制成新型的PdO-ZnSnO3旁熱式半導(dǎo)體氣敏元件。其中納米ZnSnO3基料采用改進(jìn)的共沉淀法制得。本發(fā)明具有氣敏材料靈敏度高、選擇性強(qiáng)、工作溫度低、制備工藝簡單等優(yōu)點。
聲明:
“檢測氫氣的氣敏元件制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)