本發(fā)明涉及一種氣相色譜法測定HF中痕量雜質(zhì)的設(shè)備及方法,屬于化學(xué)分析技術(shù)領(lǐng)域。所述設(shè)備中,設(shè)備主體側(cè)壁固連有
真空泵,真空泵輸出端連通導(dǎo)氣管,導(dǎo)氣管側(cè)壁連通設(shè)有第一、二進氣管以及載氣管,設(shè)備主體內(nèi)底部固連有放置箱和柱箱,放置箱內(nèi)頂部固連有連接板,連接板下端固連有加熱棒,放置箱上壁貫穿設(shè)有安裝筒和開口,設(shè)備主體側(cè)壁固連有顯示器,安裝筒上設(shè)有加熱導(dǎo)氣管的驅(qū)動機構(gòu);導(dǎo)氣管、第一、二進氣管與載氣管上均設(shè)閥門,導(dǎo)氣管與柱箱連通;柱箱內(nèi)設(shè)有氦離子化檢測器;放置箱內(nèi)填充有二甲基硅油,加熱棒延伸至二甲基硅油油面下,安裝筒的下端位于二甲基硅油油面下。所述設(shè)備及方法提高了氟化氫的痕量雜質(zhì)分析結(jié)果的準確度。
聲明:
“氣相色譜法測定HF中痕量雜質(zhì)的設(shè)備及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)