本發(fā)明實施例公開了一種微測量電極的制作方法和微尺度樣品熱電勢的測量方法。其中,所述的微測量電極的制作方法包括:制作鏤空掩模板,所述鏤空掩模板包括至少一個加熱器及加熱器接線端的鏤空圖形,和第一電阻溫度計和第二溫度計的鏤空圖形,所述溫度計的鏤空圖形包括測溫金屬線和接線端的鏤空圖形;將承載有微尺度樣品的襯底與所述鏤空掩模板對準(zhǔn)固定,形成鏤空掩模板-襯底復(fù)合體;將所述鏤空掩模板-襯底復(fù)合體進(jìn)行金屬沉積;移除鏤空掩模板。采用本發(fā)明實施例所提供的技術(shù)方案,能夠避免可能出現(xiàn)的由于采用光刻-剝離工藝所產(chǎn)生化學(xué)污染使得樣品的熱電傳輸性質(zhì)發(fā)生變化的情況,進(jìn)而提高測量微尺度樣品熱電傳輸性質(zhì)的可靠性。
聲明:
“微測量電極的制作方法和熱電勢的測量方法及相關(guān)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)