本發(fā)明涉及的是一種微冷卻測控系統(tǒng)及其加工方法。它包括硅基片和玻璃片兩層,硅基片表面上設(shè)置有微溝道和無閥微泵圖形,玻璃片上設(shè)置有溫度和流量傳感器,硅片和玻璃片通過鍵合工藝粘接在一起。本發(fā)明產(chǎn)品的優(yōu)點在于:結(jié)構(gòu)簡單,易于操作;易于批量生產(chǎn);可靠性高;流量控制范圍寬。本發(fā)明適用于納、皮衛(wèi)星環(huán)境熱控、燃料控制和微電子
芯片系統(tǒng)冷卻等領(lǐng)域。
聲明:
“微冷卻測控系統(tǒng)及其加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)