本發(fā)明公開(kāi)一種晶圓銅膜厚度在線測(cè)量模塊控制系統(tǒng)，采用上層控制系統(tǒng)和底層控制系統(tǒng)的兩級(jí)控制模式，兩層控制系統(tǒng)之間通過(guò)工業(yè)以太網(wǎng)實(shí)現(xiàn)物理連接。其中，底層控制系統(tǒng)利用可編程邏輯控制器PLC，負(fù)責(zé)直接控制化學(xué)機(jī)械拋光單元的在線測(cè)量模塊，并建立專(zhuān)用的存儲(chǔ)區(qū)臨時(shí)存儲(chǔ)測(cè)量模塊在工藝過(guò)程中采集到的數(shù)據(jù)。上層控制系統(tǒng)采用工控機(jī)IPC，通過(guò)底層控制系統(tǒng)監(jiān)控在線測(cè)量模塊的運(yùn)行，并利用OPC技術(shù)主動(dòng)讀取底層存儲(chǔ)區(qū)中的數(shù)據(jù)，完成數(shù)據(jù)的處理，為工藝人員提供操作軟件?；诠に囆枨?，本發(fā)明的控制系統(tǒng)設(shè)置了標(biāo)定和測(cè)量?jī)煞N模式，并可分組存儲(chǔ)多個(gè)標(biāo)定表以消除不同工藝配方對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。本發(fā)明具有無(wú)損測(cè)試、操作簡(jiǎn)單、便于維護(hù)、良好的可擴(kuò)展性以及安全可靠的優(yōu)點(diǎn)。