本實(shí)用新型屬于無(wú)機(jī)化學(xué)儀器分析領(lǐng)域,具體涉及一種真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。目的在于提供一種啟動(dòng)速度快、靈敏度高、漏點(diǎn)定位準(zhǔn)確同時(shí)又具備抽空功能的真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。該平臺(tái)包括真空系統(tǒng)、為真空系統(tǒng)各部件提供電源的電源控制系統(tǒng)、與被檢工件進(jìn)行匹配連接的接口系統(tǒng),其中真空系統(tǒng)為被檢工件提供真空環(huán)境和真空指示;電源控制系統(tǒng)控制整機(jī)、機(jī)械泵、分子泵、離子泵、復(fù)合真空計(jì)等部件的電源。接口系統(tǒng)為待抽系統(tǒng)、工件提供形態(tài)各異的接口和轉(zhuǎn)換頭。本平臺(tái)在準(zhǔn)確定位焊接器件的漏點(diǎn)、質(zhì)譜計(jì)制造真空系統(tǒng)輔助抽空、真空系統(tǒng)輔助運(yùn)行中效果明顯,同時(shí),在質(zhì)譜儀真空實(shí)驗(yàn)中,能為離子源等試驗(yàn)提供真空環(huán)境;具備抽速快、啟動(dòng)迅速、使用方便、多功能等特點(diǎn)。
聲明:
“真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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