本發(fā)明公開了一種溶膠-凝膠薄膜氣敏傳感器 制造方法,其制作步驟及方法是:(1)選擇光纖光柵;(2)確定鍍 膜厚度;(3)光纖光柵包層涂膜;(4)制備多孔氣敏薄膜;(5)傳 感頭制作。本發(fā)明提供了一種小型化、高集成、可遙測的高靈 敏溶膠-凝膠薄膜氣敏傳感器的制造方法,應(yīng)用這種方法所制 造的傳感器,對檢測氣體具有很高的靈敏度,對膜層折射率的 測量分辨率可高達(dá)10-8,它集 中了薄膜傳感器和光纖光柵結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于光化學(xué) 傳感器中。
聲明:
“溶膠-凝膠薄膜氣敏傳感器制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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