本發(fā)明涉及用于處理基板的裝置和方法。用于處理基板的方法包括:通過(guò)在旋轉(zhuǎn)基板的情況下將化學(xué)溶液分配到基板上來(lái)處理基板,其中,與基板或化學(xué)溶液直接接觸的接地導(dǎo)電構(gòu)件包括在支承和旋轉(zhuǎn)基板的支承單元中,在接地導(dǎo)電構(gòu)件與地之間的接地路徑上設(shè)置有電流檢測(cè)器,并且基于由電流檢測(cè)器檢測(cè)的電流值控制基板的處理?xiàng)l件。
聲明:
“用于處理基板的裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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