一種自驅(qū)動自傳感微懸臂傳感器、制作方法及其應(yīng)用,涉及傳感器和腫瘤標(biāo)記物的檢測技術(shù)領(lǐng)域。傳感器由在懸臂段的兩端分別連接檢測段和接線段組成,懸臂段和檢測段的橫斷面分別由基底層以及依次設(shè)置在基底層的同一側(cè)的下電極層、壓電層、上電極層及頂層組成;下電極層和上電極層各自裸露于接線段的兩個自由端。在微型懸臂傳感器的檢測段的上電極層進(jìn)行
電化學(xué)表面功能化材料的修飾后,用于檢測電壓信號。本發(fā)明具有檢測設(shè)備投入少、操作方便、樣品耗量小、環(huán)境污染少、檢測效率高、檢測精度高、靈敏度高的特點(diǎn)。
聲明:
“自驅(qū)動自傳感微懸臂傳感器、制作方法及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)