本發(fā)明提供一種制造系統(tǒng),包括研磨機(jī)臺(tái)、檢測(cè)機(jī)臺(tái)及控制裝置。該研磨機(jī)臺(tái)是通過(guò)機(jī)械方式移除一基材上的導(dǎo)電物質(zhì)。該檢測(cè)機(jī)臺(tái)是通過(guò)非破壞性測(cè)試方法,測(cè)量該導(dǎo)電物質(zhì)中引起的電磁信號(hào)。該控制裝置是與該研磨機(jī)臺(tái)及該檢測(cè)機(jī)臺(tái)耦接,用以在研磨制程進(jìn)行中,依據(jù)測(cè)量得到的該電磁信號(hào),決定該導(dǎo)電物質(zhì)的殘余厚度及移除率,并據(jù)以調(diào)整該研磨機(jī)臺(tái)的第一制程參數(shù)。使用本發(fā)明提供的制造系統(tǒng),可使后一研磨制程的研磨量依據(jù)前一研磨制程的結(jié)果來(lái)進(jìn)行調(diào)整,從而提高化學(xué)機(jī)械研磨的平坦化效果。
聲明:
“制造系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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