根據(jù)本發(fā)明的雙重管結(jié)構(gòu)流動池裝置的特征在于包括:包括第一流路形成部,連接于介質(zhì)流入部,以供流動介質(zhì)流入,并且所述第一流路形成部形成有第一流路部,以供流動介質(zhì)流動;第二流路形成部,以與所述第一流路部連通的方式形成有第二流路部,并且所述第二流路形成部連接于介質(zhì)排出部,以使所述第二流路部的流動介質(zhì)排出;以及氣泡排出部,連接于所述第一流路形成部,以排出混合在所述第一流路部的流動介質(zhì)中的氣泡。根據(jù)本發(fā)明,高溫的流動介質(zhì)在雙重管結(jié)構(gòu)流動池裝置中流動,流動介質(zhì)的波長被光吸收,所以在實際的半導(dǎo)體工序中使用的條件下測量流動介質(zhì)的濃度,無需為了提高流動介質(zhì)的檢測靈敏度而對流動介質(zhì)分多次進(jìn)行化學(xué)處理。
聲明:
“雙重管結(jié)構(gòu)流動池裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)