本實用新型提出一種帶光路的勻膠機,包括勻膠機本體,勻膠機本體包括第一機座、第二機和涂膜工作基座,第二機座內(nèi)部設(shè)有光路氣路多用途旋轉(zhuǎn)機構(gòu),第一機座的內(nèi)腔頂部設(shè)有光源組件,涂膜工作基座內(nèi)部的工作腔底部設(shè)有排氣管。本實用新型可在旋涂過程中吸收光譜、熒光光譜和反射光譜的動態(tài)變化,用于跟蹤溶劑揮發(fā)、溶劑退火、熱退火過程中的材料相變,并在化學(xué)反應(yīng)動力學(xué)、生化過程的跟蹤檢測方面具有優(yōu)勢,排氣泵機通過多條對稱設(shè)置的導(dǎo)氣管使得排氣管進(jìn)行抽氣工作,而由于排氣管座頂部開設(shè)有呈圓環(huán)形的排氣槽口,且排氣管與涂膜工作基座的工作腔呈同軸度設(shè)置,排氣過程中,排氣均勻,不產(chǎn)生氣流紊亂,保證基片上涂膜的精度。
聲明:
“帶光路的勻膠機” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)