一種新型
多晶硅碳頭料的物理分離方法,本發(fā)明涉及多晶硅的生產(chǎn)中多晶硅碳頭料石墨部分與高純硅的分離的物理方法。該方法包括多晶硅碳頭料的破碎前處理、噴砂分離碳頭料、分離后碳頭料的DI水漂洗、DI水漂洗后碳頭料的DI超聲波水漂洗、DI超聲波水漂洗后碳頭料的化學(xué)清洗、分離得到碳頭料的檢查包裝七個(gè)步驟。該方法的特點(diǎn)是:利用噴砂裝置射出的高速磨料4直接作用于碳頭料石墨部位5將石墨(石墨紙)5與高純多晶2硅剝離;采用磨料4硬度與多晶硅5硬度相當(dāng),并選擇合適的磨料粒度將處理過程中的損耗降至最低。相較原有化學(xué)腐蝕分離碳頭料的方法,噴砂法安全可靠,不易燃不易爆;噴砂法一次即可將石墨完全剝離,有效節(jié)省人力物力;噴砂機(jī)磨料可重復(fù)使用,節(jié)約環(huán)保。
聲明:
“新型多晶硅碳頭料的物理分離方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)