本發(fā)明實施例公開了一種儲液罐,包括主罐體和顯液管,顯液管一端開口,另一端與主罐體相連通,顯液管與主罐體之間還設(shè)置有可全部或部分展開并將上述二者分隔開來的膠囊體。上述儲液罐中在主罐體和顯液管之間設(shè)置有可展開的膠囊體,膠囊體將主罐體和顯液管分隔成兩部分。當(dāng)需要觀察主罐體上化學(xué)藥劑的高度時,在顯液管的開口處注入測量液,當(dāng)主罐體內(nèi)化學(xué)藥劑高度發(fā)生變化時,膠囊體展開或者閉合,顯液管中的測量液高度隨即發(fā)生變化。由于上述儲液罐中主罐體和顯液管可注入不同的液體,且顯液管可注入易分辨、清洗的測量液,因此可以避免由于顯液管和主罐體采用同一液體容易產(chǎn)生沾污物的現(xiàn)象發(fā)生。本發(fā)明實施例還提供了一種硅片清洗設(shè)備。
聲明:
“硅片清洗設(shè)備以及儲液罐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)