本發(fā)明提供了一種磷化銦晶片的表面處理方法,包括以下步驟:a)將拋光、化蠟后的磷化銦晶片采用混合藥液進(jìn)行過藥處理,得到處理后晶片;所述混合藥液由氧化劑溶液、酸溶液和水配制而成;b)將步驟a)得到的處理后晶片依次經(jīng)沖水、甩干,得到清洗檢驗(yàn)前的磷化銦晶片。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的磷化銦晶片的表面處理方法是出現(xiàn)在磷化銦晶片清洗檢驗(yàn)前的一個(gè)重要工藝,該表面處理方法操作簡(jiǎn)便、效率高;處理后的晶片表面粗糙度會(huì)更好,產(chǎn)品良率更高;并且所使用的混合藥液中各成分均為常見無機(jī)化學(xué)品,成本低;因此本發(fā)明提供的磷化銦晶片的表面處理方法具有廣闊的應(yīng)用前景。
聲明:
“磷化銦晶片的表面處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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