本發(fā)明公開了一種集成熱處理工藝的多腔室氮化物材料外延系統(tǒng),屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明能夠有效解決在氮化物材料生長時,利用異位熱處理系統(tǒng)進行退火工藝處理后,二次外延材料外延生長與高溫?zé)崽幚磉^程中產(chǎn)生的樣品污染而導(dǎo)致材料質(zhì)量下降的問題。該系統(tǒng)包括金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、高溫?zé)崽幚碓O(shè)備、互聯(lián)系統(tǒng)、源存儲系統(tǒng)、輸運系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)和監(jiān)測與控制系統(tǒng)。本發(fā)明將熱退火工藝與金屬有機化學(xué)氣相沉積工藝集成在一起,為高溫?zé)崽幚砉に噺V泛應(yīng)用于氮化物材料生長,獲得高質(zhì)量氮化物提供了一種有效方法。
聲明:
“集成熱處理工藝的多腔室氮化物材料外延系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)