本實用新型涉及一種鍍膜設(shè)備的觀察結(jié)構(gòu),鍍膜設(shè)備包括真空室,包括:遮擋部件,設(shè)于所述真空室的室壁的觀測孔內(nèi),所述遮擋部件包括遮擋部和鏤空部;透明罩體,對應(yīng)設(shè)于所述觀測孔所在的真空室的外壁上。本實用新型還提供了一種具有鍍膜設(shè)備的觀察結(jié)構(gòu)的鍍膜設(shè)備,有效的減小的觀測孔的觀測面積,防止了觀測孔處發(fā)生異常起輝反應(yīng)或打火現(xiàn)象,從而避免了異常起輝反應(yīng)或打火現(xiàn)象對真空室內(nèi)的化學(xué)氣相沉積工藝的干擾問題;同時,還避免通過觀測孔觀察時,因異常起輝現(xiàn)象的輝光過于強烈,而刺激雙眼的情況,避免了出現(xiàn)射頻泄漏情況的概率,也減小了對周圍環(huán)境造成的傷害,保證鍍膜設(shè)備在有效反應(yīng)工藝區(qū)進行正常的工藝鍍膜。
聲明:
“鍍膜設(shè)備的觀察結(jié)構(gòu)及鍍膜設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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