本發(fā)明公開了一種改善單拋機(jī)拋后硅片塌邊的拋光工藝,其實(shí)驗(yàn)工藝包括以下步驟:S1、首先將拋光液、清洗劑、活性劑、氫氧化鉀溶液按照組分的重量份比稱取各相應(yīng)比例的組分,并放置到相應(yīng)的儲存器皿內(nèi)部進(jìn)行備用,使用單拋機(jī)系列,并在拋光前檢查設(shè)備狀態(tài),保證無異常后進(jìn)行工藝調(diào)節(jié),可根據(jù)不同的來料類型,設(shè)定不同的加工工藝,運(yùn)用兩到不同拋頭進(jìn)行加工,S2、然后通過將第一個(gè)拋頭設(shè)定為粗拋,粗拋墊型號、拋光液型號根據(jù)產(chǎn)品的加工要求可自行選擇,粗拋墊隨著加工壽命的減少,在拋頭壓力的作用下,中心部位的磨損程度會大于邊緣部位,在粗拋工藝中加入一定配比的氫氧化鉀溶液,可以加快化學(xué)反應(yīng)速率。
聲明:
“改善單拋機(jī)拋后硅片塌邊的拋光工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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