非接觸模式與接觸模式協(xié)同工作的原子力顯微鏡控制方法,解決現(xiàn)有兩種工作模式組合方式存在無法原位表征的問題,屬于原子力顯微鏡技術(shù)。本發(fā)明的原子力顯微鏡的懸臂梁帶動(dòng)探針在樣品上方,方法包括:S1、原子力顯微鏡的懸臂梁帶動(dòng)探針在樣品上方設(shè)定距離處,激發(fā)傳感器激發(fā)懸臂梁帶動(dòng)探針諧振,測(cè)試長(zhǎng)程性能;S2、激發(fā)傳感器停止激發(fā),驅(qū)動(dòng)樣品向上運(yùn)動(dòng)或探針向下運(yùn)動(dòng)進(jìn)而使樣品表面緊貼上方的探針,激勵(lì)傳感器產(chǎn)生激勵(lì)信號(hào)作用于樣品和/或探針,測(cè)試樣品的物理化學(xué)特性;S3、激勵(lì)傳感器停止產(chǎn)生激勵(lì)信號(hào),同時(shí)樣品或探針回到原位,驅(qū)動(dòng)樣品或探針移動(dòng)使原子力顯微鏡的懸臂梁帶動(dòng)探針移動(dòng)至下一個(gè)測(cè)試位置點(diǎn),轉(zhuǎn)入S1。
聲明:
“非接觸模式與接觸模式協(xié)同工作的原子力顯微鏡控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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