金剛石復(fù)合膜是屬于薄膜技術(shù)領(lǐng)域,它是以高頻等離子體法制成的類金剛石膜上再以微波等離子體法化學(xué)氣相沉積而成。涂覆于硅
太陽能電池及紅外探測器上,具有光學(xué)增透效應(yīng)。本發(fā)明解決了此類光電器件的光電轉(zhuǎn)換效應(yīng)及光透性差的問題,且又有更佳的鈍化作用,尤其使硅太陽能電池光譜響應(yīng)波長范圍拉寬,增透率為40%理論值接近,用于紅外探測器特別Hgde器件上解決了光透材料,使平均透過率提高。
聲明:
“類金剛石與金剛石復(fù)合膜作新型光學(xué)增透膜” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)