本發(fā)明用于壓力、加速度測量,可以應用于生物、化學、環(huán)境等許多領域中,涉及對液體或氣體蒸汽等微質量變化的測量,尤其是涉及一種對蘭姆波微傳感器的改進。它包括襯底、薄膜,金屬層、凸臺、接收窗口、叉指電極、齒狀支撐、襯底,本發(fā)明采用常規(guī)的體硅工藝,不需特殊工藝便可制造;由于采用薄膜、金屬層、凸臺、齒狀支撐和叉指電極的結構,提供了一種體積小、重量輕、成本低、質量穩(wěn)定、壽命長的疊層式靜電驅動蘭姆波微型傳感器。
聲明:
“靜電疊層式蘭姆波微型傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)