一種鎂合金表面制備釔/氮化硅復(fù)合涂層材料的方法,涉及鎂合金表面復(fù)合涂層材料。提供膜厚可控,具有良好抗腐蝕性能的一種鎂合金表面制備釔/氮化硅復(fù)合涂層材料的方法?;w前處理;靶材預(yù)濺射;直流濺射沉積過(guò)渡層金屬Y膜;射頻反應(yīng)濺射沉積外層非晶態(tài)Si3N4膜。使用金屬Y作為過(guò)渡層,然后在過(guò)渡層的基礎(chǔ)上射頻反應(yīng)濺射沉積非晶態(tài)Si3N4膜法。在一定沉積壓強(qiáng)、溫度、氣體流量等條件下,通過(guò)改變?yōu)R射時(shí)間,制備出各層膜厚可控具有超強(qiáng)抗腐蝕性能的Y/Si3N4復(fù)合涂層材料。通過(guò)動(dòng)電位極化曲線和交流阻抗的
電化學(xué)測(cè)試以及析氫試驗(yàn)和鹽霧試驗(yàn)的實(shí)際使用測(cè)試,結(jié)果表明表面覆蓋Y/Si3N4復(fù)合涂層的鎂合金擁有良好的抗腐蝕性能。
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