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礦山行業(yè)   冶金行業(yè)   材料行業(yè)

礦山行業(yè)
探礦   采礦   選礦

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火法冶金   濕法冶金   電冶金

材料行業(yè)
功能材料   復合材料   新能源

環(huán)保行業(yè)
廢水處理   大氣處理   固危廢

檢測行業(yè)
物理檢測   化學檢測   力學檢測

其他行業(yè)
綜合

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礦山行業(yè)      冶金行業(yè)      材料行業(yè)      環(huán)保行業(yè)      檢測行業(yè)      其他行業(yè)
最新會議

2024新能源礦產(chǎn)資源科技創(chuàng)新發(fā)展論壇
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
2025全國三稀礦產(chǎn)資源技術交流會
2025工業(yè)廢水處理與資源化利用交流會
第二屆全國硫磷鈦資源與新能源協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展論壇

熱門報告
?浮選藥劑與礦物作用的配位理論下載：300
?磨礦浮選智能控制的工程實踐下載：244
?鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的研究進展及產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀下載：221
?基于CFD-PBM和CFD-DEM耦合法的絮凝濃密過程研究下載：210
?銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論下載：207
?微細粒尾礦膏體濃縮及膠結充填技術下載：194

最新報道
?廣州銘謙選礦設備有限公司邀您共同參加“第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-28
??成都永益泵業(yè)股份有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-18
?江蘇蘇青水處理工程集團有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”!2024-10-14
?青島金木石實驗室科技有限公司受邀參加“第一屆礦產(chǎn)品采樣與制樣技術研討會”~！2024-08-28
?江蘇泰爾新材料股份有限公司受邀參加第三屆全國難熔金屬及硬質(zhì)合金技術研討會2024-08-13
?沈陽恒潤真空科技有限公司邀您參加第三屆全國先進功能材料制備/加工及應用技術交流會！2024-08-13

礦山行業(yè)
探礦       采礦       選礦       通用
最新會議

2024新能源礦產(chǎn)資源科技創(chuàng)新發(fā)展論壇
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會
2025全國三稀礦產(chǎn)資源技術交流會
2024非金屬礦物選礦提純技術交流會
第七屆中國銅工業(yè)科學技術發(fā)展大會暨山西省銅基新材料產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展大會

熱門報告
?浮選藥劑與礦物作用的配位理論下載：300
?磨礦浮選智能控制的工程實踐下載：244
?基于CFD-PBM和CFD-DEM耦合法的絮凝濃密過程研究下載：210
?銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論下載：207
?微細粒尾礦膏體濃縮及膠結充填技術下載：194
?多固廢協(xié)同的固廢基膠凝材料混凝土生產(chǎn)應用技術與低碳發(fā)展下載：192

最新報道
?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創(chuàng)新研討會”！2024-08-05
?威海彤格科技有限公司邀您參加“第五屆中國浮選大會”~！2024-05-08
?內(nèi)蒙古地礦集團技術需求、采購需求內(nèi)容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
?福建中天交通工程技術服務有限公司受邀參加“2023綠色智能采礦技術與裝備產(chǎn)學研合作論壇”2023-08-02
?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業(yè)
火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
最新會議

第七屆全國低品位礦產(chǎn)資源高效利用新技術交流會
中國有色金屬冶金第八屆學術會議
2024先進鋼鐵釩鈦產(chǎn)業(yè)鏈融通與綠色低碳發(fā)展論壇
第十二屆全國濕法冶金工程技術交流會
異質(zhì)材料焊接與連接第四屆學術會議

熱門報告
?鋰資源綜合利用關鍵技術下載：180
?綠色高效提煉稀有金屬的研究下載：148
?我國主要有色金屬濕法冶金技術現(xiàn)狀與展望下載：138
?銅冶煉過程砷的控制和無害化處置下載：128
?銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合下載：113
?礦相重構鋰云母礦以同步提取鋰銣銫下載：109

最新報道
?湖南樂海環(huán)保科技有限公司邀您參加“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”！2024-06-25
?中集環(huán)?？萍迹◤V東）有限公司邀您參加 “2024先進鋼鐵釩鈦產(chǎn)業(yè)鏈融通與綠色低碳發(fā)展論壇”~！2024-06-14
?歡迎繼續(xù)申報“第二屆邱定蕃有色冶金青年科技獎”--6月28-30日“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”將在長沙召開2024-05-27
?合肥通用環(huán)境控制技術有限責任公司邀您參加第十二屆全國濕法冶金工程技術交流會！2024-04-23
?順利閉幕--“全國有色金屬工業(yè)電化學第二屆學術會議”在桂林市成功召開2023-07-25
?陜西中迪能環(huán)科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業(yè)電化學第二屆學術會議2023-07-21

材料行業(yè)
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
最新會議

第二屆全國硫磷鈦資源與新能源協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展論壇
2025全國碳纖維與復合材料應用技術創(chuàng)新論壇
特種粉末冶金及復合材料制備/加工第八屆學術會議
2024低空飛行器與輕量化材料論壇
2024磷資源高值利用創(chuàng)新發(fā)展論壇暨第二屆磷酸錳鐵鋰技術交流會

熱門報告
?鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的研究進展及產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀下載：221
?磷酸(錳)鐵鋰材料的發(fā)展及動力電池的失效分析解析下載：123
?磷酸鐵鋰材料與電池體系的發(fā)展方向下載：116
?磷酸鐵鋰的產(chǎn)業(yè)化與回收前景分析下載：112
?廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源化進展下載：112
?西藏鹽湖鋰資源和開發(fā)利用下載：98

最新報道
?江蘇泰爾新材料股份有限公司受邀參加第三屆全國難熔金屬及硬質(zhì)合金技術研討會2024-08-13
?沈陽恒潤真空科技有限公司邀您參加第三屆全國先進功能材料制備/加工及應用技術交流會！2024-08-13
?上海皓越真空設備有限公司邀您參加 “2024先進陶瓷材料制備加工與應用交流會”~2024-08-01
?南京博蘊通儀器科技有限公司邀您參加“2024先進陶瓷材料制備加工與應用交流會”~2024-07-25
?無錫阿特茲智能設備有限公司邀您參加 “2024先進陶瓷材料制備加工與應用交流會”~！2024-07-11
?株洲漢和工業(yè)設備有限公司受邀參加 2024金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會~！2024-06-05

環(huán)保行業(yè)
廢水處理       大氣治理       固/危廢處置       土壤修復
最新會議

2025工業(yè)廢水處理與資源化利用交流會
全國冶金礦產(chǎn)固廢資源化第五屆學術會議
第十七屆東亞資源再生技術國際會議
2024有色金屬工業(yè)環(huán)境保護與減污降碳技術大會
第六屆中國有色金屬資源循環(huán)與綠色發(fā)展大會

熱門報告
?廢光伏組件拆解回收與稀貴金屬回收技術進展下載：154
?退役動力電池資源化回收關鍵技術及應用下載：118
?基于熱還原法選擇性回收廢舊鋰離子電池中的鋰資源下載：116
?復雜銅基多金屬固廢綠色協(xié)同冶煉技術下載：114
?廢舊鋰電全組分回收與利用下載：111
?工業(yè)石膏資源化綜合利用新技術開發(fā)及應用下載：111

最新報道
?廣州銘謙選礦設備有限公司邀您共同參加“第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-28
??成都永益泵業(yè)股份有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”！2024-10-18
?江蘇蘇青水處理工程集團有限公司邀您參加 “第十七屆東亞資源再生技術國際會議”!2024-10-14
?“2024煤焦化產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新與環(huán)境保護論壇”于山西太原圓滿收官！2024-07-01
?關于征集企業(yè)技術難題及產(chǎn)學研合作需求的通知--煤基固廢及廢舊復合器件方向需求征集2024-05-06
?上海治實合金科技有限公司邀您參加“2024廢舊復合器件清潔回收與高值再造論壇”~2024-04-30

檢測行業(yè)
物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環(huán)境檢測
最新會議

2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產(chǎn)品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質(zhì)量發(fā)展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會
第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會
有色金屬行業(yè)碳排放管理與碳交易操作實務暨碳排放管理員職業(yè)技能專題培訓班

熱門報告
?礦產(chǎn)品能力驗證計劃中樣品的選取與制備研究下載：135
?取、制樣安全淺析下載：123
?取、制樣現(xiàn)狀及未來規(guī)劃/需求下載：98
?自動化樣品制備助力準確高效的礦產(chǎn)品分析下載：92
?淺談質(zhì)量檢驗管理風險防控的重點與難點下載：91
?樣品變質(zhì)引起采制樣和結算問題下載：89

最新報道
?青島金木石實驗室科技有限公司受邀參加“第一屆礦產(chǎn)品采樣與制樣技術研討會”~！2024-08-28
?“2023有色金屬分析檢測優(yōu)秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創(chuàng)想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業(yè)
綜合
最新會議

2024鋁冶煉設備更新賦能產(chǎn)業(yè)鏈融通與高質(zhì)量發(fā)展論壇
2024礦山化學品科技創(chuàng)新與應用交流會
‘雙碳計劃’+低碳冶金與綠色發(fā)展技術研討會
“5G+BIM+智慧工廠+雙碳”賦能有色行業(yè)技術創(chuàng)新論壇
2023中國有色金屬智庫湘江論壇

熱門報告
?退役動力電池短流程資源化回收關鍵技術下載：148
?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：126
?二氧化碳捕集劑開發(fā)及應用研究下載：109
?化學吸收碳捕集和利用技術下載：106
?高熵合金在極端條件和環(huán)境下的應用開發(fā)下載：101
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：100

最新報道
?重慶康普化學工業(yè)股份有限公司受邀參加“2024礦山化學品科技創(chuàng)新與應用交流會”！2023-12-28
?“5G+BIM+智慧工廠+雙碳”賦能有色行業(yè)技術創(chuàng)新論壇將于10月19-21日在貴陽召開--最新報告匯總2023-09-20
?十余位院士出席，過千人與會！“2023中國有色金屬智庫湘江論壇”在湖南長沙隆重召開2023-08-22
?成都長杰科技有限公司受邀參加“有色金屬固/危廢安全處置與資源化利用技術研討會”2023-07-24
?廣域銘島數(shù)字科技有限公司邀您參加“中國鋁工業(yè)綠色低碳發(fā)展創(chuàng)新大會”~2023-04-14
?“5G+有色金屬智能工廠綠色信息化建設發(fā)展論壇”于昆明圓滿閉幕！2023-02-28
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礦山行業(yè)

冶金行業(yè)

材料行業(yè)

環(huán)保行業(yè)

檢測行業(yè)

其他行業(yè)

最新報告

中國綠色智能化礦山發(fā)展戰(zhàn)略
礦山三維空間感知技術及工程應用
礦山安全與智能化關鍵環(huán)節(jié)：鋼絲繩檢測
多孔類巖石材料力學特性與破壞特征值模擬研究
井下煤層瓦斯壓力與含量直接測定技術進展

熱門報告

?浮選藥劑與礦物作用的配位理論下載：300
?磨礦浮選智能控制的工程實踐下載：244
?基于CFD-PBM和CFD-DEM耦合法的絮凝濃密過程研究下載：210

?銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論下載：207
?微細粒尾礦膏體濃縮及膠結充填技術下載：194
?多固廢協(xié)同的固廢基膠凝材料混凝土生產(chǎn)應用技術與低碳發(fā)展下載：192

最新報告

復雜銅鉬硫化礦低堿浮選分離研究及進展
低品位鋰多金屬資源高效開發(fā)利用
超穩(wěn)定三相泡沫的化學失穩(wěn)機制研究
含釩冶金渣濕法提釩及V2O5制備工藝研究
鋰鉭鈮等關鍵金屬礦產(chǎn)資源工藝礦物學研究

熱門報告

?鋰資源綜合利用關鍵技術下載：180
?綠色高效提煉稀有金屬的研究下載：148
?我國主要有色金屬濕法冶金技術現(xiàn)狀與展望下載：138

?銅冶煉過程砷的控制和無害化處置下載：128
?銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合下載：113
?礦相重構鋰云母礦以同步提取鋰銣銫下載：109

最新報告

持續(xù)低價形勢下中國基礎鋰鹽產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展之路初探
焦磷酸哌嗪新合成方法及應用研究
“雙碳”背景下我國磷化工高質(zhì)量發(fā)展路徑
鋰離子電池材料改性研究
聚陰離子類鈉離子電池正極材料研究進展

熱門報告

?鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的研究進展及產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀下載：221
?磷酸(錳)鐵鋰材料的發(fā)展及動力電池的失效分析解析下載：123
?磷酸鐵鋰材料與電池體系的發(fā)展方向下載：116

?磷酸鐵鋰的產(chǎn)業(yè)化與回收前景分析下載：112
?廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源化進展下載：112
?西藏鹽湖鋰資源和開發(fā)利用下載：98

最新報告

選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法
廢 FCC 催化劑高效資源化利用
溶劑萃取提鋰技術進展及新技術研究
銅渣礦物相重構在鈣砷渣中固定化砷的新策略
白云鄂博尾礦鈮資源電化學提取過程熔體電導率研究及廢渣高值化利用

熱門報告

?廢光伏組件拆解回收與稀貴金屬回收技術進展下載：154
?退役動力電池資源化回收關鍵技術及應用下載：118
?基于熱還原法選擇性回收廢舊鋰離子電池中的鋰資源下載：116

?復雜銅基多金屬固廢綠色協(xié)同冶煉技術下載：114
?廢舊鋰電全組分回收與利用下載：111
?工業(yè)石膏資源化綜合利用新技術開發(fā)及應用下載：111

最新報告

選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業(yè)的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質(zhì)檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業(yè)元素分析檢測中的系列產(chǎn)品及應用

熱門報告

?礦產(chǎn)品能力驗證計劃中樣品的選取與制備研究下載：135
?取、制樣安全淺析下載：123
?取、制樣現(xiàn)狀及未來規(guī)劃/需求下載：98

?自動化樣品制備助力準確高效的礦產(chǎn)品分析下載：92
?淺談質(zhì)量檢驗管理風險防控的重點與難點下載：91
?樣品變質(zhì)引起采制樣和結算問題下載：89

最新報告

科遠智慧有色行業(yè)智能化與自主可控產(chǎn)品的應用
設備更新支撐電解鋁工業(yè)健康發(fā)展
電捕焦油器在碳素行業(yè)的應用
高效節(jié)能氣態(tài)膜技術在鋁灰濕法處置所產(chǎn)生的含氨廢水處理過程中的應用
高鐵赤泥中有價鐵金屬回收進展

熱門報告

?退役動力電池短流程資源化回收關鍵技術下載：148
?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：126
?二氧化碳捕集劑開發(fā)及應用研究下載：109

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：106
?高熵合金在極端條件和環(huán)境下的應用開發(fā)下載：101
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：100
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> 降低半導體設備工藝腔室內(nèi)金屬污染的方法

降低半導體設備工藝腔室內(nèi)金屬污染的方法

726 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:56:51

本發(fā)明公開一種降低半導體設備工藝腔室內(nèi)金屬污染的方法，該包括在工藝腔室的內(nèi)壁形成介質(zhì)層的步驟，其中形成介質(zhì)層的步驟包括：向工藝腔室中通入第一氣體和第二氣體，并使第一氣體和第二氣體電離形成等離子體并發(fā)生化學反應，以在工藝腔室的內(nèi)壁上沉積形成不含金屬元素的介質(zhì)層。本發(fā)明在工藝腔室的內(nèi)壁形成介質(zhì)層，從而起到保護晶圓的作用，使其不會被金屬所污染，從而保證了金屬污染測試的通過率，進而節(jié)省大量的機臺閑置時間，提高機臺產(chǎn)能，增加了晶圓上芯片元器件的可靠性，提升器件良率。

聲明：

“降低半導體設備工藝腔室內(nèi)金屬污染的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)

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化學分析

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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

2025年03月25日 ~ 27日

2024新能源礦產(chǎn)資源科技創(chuàng)新發(fā)展論壇

2024新能源礦產(chǎn)資源科技創(chuàng)新發(fā)展論壇

2025年04月27日 ~ 29日

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1 礦產(chǎn)品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:135

2 取、制樣安全淺析

下載:123

3 取、制樣現(xiàn)狀及未來規(guī)劃/需求

下載:98

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:92

5 淺談質(zhì)量檢驗管理風險防控的重點

下載:91

6 樣品變質(zhì)引起采制樣和結算問題

下載:89

7 礦產(chǎn)品人工取樣方案的制定及案例

下載:86

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:85

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿(mào)

下載:84

10 制樣室裝修設計技巧

下載:83

第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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1防爆閥保護膜

2壓力平衡機構

3水電站的尾水預埋件

4化工礦產(chǎn)有色金屬的檢測機構

5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法

6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置

7有色金屬現(xiàn)貨狀態(tài)評估系統(tǒng)及方法

8有色金屬廢料中鐵磁性雜質(zhì)檢測設備及檢測工藝

9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法

10便攜式礦山測量激光儀

衡水宏運壓濾機有限公司

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