本發(fā)明涉及一種納米羰基金屬復(fù)合超滑含氫碳薄膜的制備方法,是在金屬基底上通過磁控濺射沉積技術(shù)和空心陰極等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)沉積制備含氫量為20?24%的含氫碳薄膜,然后通過自組裝的方式在含氫碳薄膜上生長納米羰基金屬顆粒獲得。由于羰基金屬其羰基的高活性,在摩擦過程中,含氫非晶碳環(huán)狀網(wǎng)絡(luò)在納米羰基金屬的催化下轉(zhuǎn)變?yōu)?a href="http://frjcc.com/prod_show-57640.html" target="_blank">石墨烯,而石墨烯的多層結(jié)構(gòu)有利于碳膜的超滑性能。摩擦性能測試結(jié)果表明,在干燥的大氣環(huán)境及惰性氣氛下,本發(fā)明制備的復(fù)合納米羰基金屬含氫碳膜的摩擦系數(shù)均在0.003~0.006范圍內(nèi),遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)的0.01數(shù)量級,完全實現(xiàn)了在宏觀尺度大氣等環(huán)境下的超滑性能,對超滑技術(shù)的工程應(yīng)用意義重大。
聲明:
“納米羰基金屬復(fù)合超滑含氫碳薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)