本發(fā)明公開了一種復(fù)合敏感膜及制備方法、氣體傳感器及制備方法,將毒氣敏感材料分散到溶劑中,然后旋涂到以金屬為襯底通過化學(xué)氣相沉積制備得到的二維材料表面,從而獲得一種堆疊結(jié)構(gòu)的復(fù)合敏感膜;將復(fù)合敏感膜裁剪成合適的尺寸,放到刻蝕液的液面上,以刻蝕復(fù)合敏感膜的金屬襯底,從而得到自支撐的復(fù)合敏感膜;將自支撐的復(fù)合敏感膜在去離子水液面上漂洗后,利用浸漬提拉法將其轉(zhuǎn)移到氣敏傳感器的測量元件表面。復(fù)合敏感膜中的二維材料層具有良好的疏水性和機(jī)械強(qiáng)度,保證復(fù)合敏感膜在液面上的完整性。另外,二維材料層還具有很高的表面能,可以改善復(fù)合敏感膜與壓電襯底表面的貼附性,增強(qiáng)毒氣敏感材料與聲表面波器件的耦合作用,從而提高傳感器對沙林毒氣及其模擬劑的響應(yīng)靈敏度和響應(yīng)速度。
聲明:
“復(fù)合敏感膜及制備方法、氣體傳感器及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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