一種鈀金合金氫氣傳感器芯體的制造方法,屬于傳感器技術(shù)及制造領(lǐng)域,本發(fā)明為解決現(xiàn)有傳感器芯體穩(wěn)定性不高,并且成本高的問題。本發(fā)明的具體過程為:依次用丙酮溶液、酒精和HF溶液清洗硅片,然后甩干;利用干法濕法混合氧化,在硅片表面形成第一二氧化硅層和第二二氧化硅層;利用化學(xué)氣相沉積在第一二氧化硅層的表面形成氮化硅層;利用濺射在氮化硅層表面形成鈀鎂合金薄膜;利用濺射在氮化硅層的表面形成測(cè)溫電阻和加熱電阻;在背面利用腐蝕形成背面腐蝕槽。本發(fā)明用于氫氣傳感器的生產(chǎn)和使用中。
聲明:
“鈀金合金氫氣傳感器芯體的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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