本發(fā)明涉及一種柔性薄膜熱電堆及其制備方法,所述熱電堆包括:聚酰亞胺(Polyimide,簡寫為PI)薄膜襯底,襯底的一面設置有第一熱電極,另一面設置有第二熱電極,同時襯底上包含有數(shù)個通孔用于連接第一熱電極與第二熱電極,從而形成熱電堆。本發(fā)明還公開了該熱電堆的制備方法,包括利用化學溶液法在聚酰亞胺薄膜的兩面原位生長金屬,分別制得銀薄膜與鎳薄膜,再利用激光直寫方法對銀薄膜和鎳薄膜進行圖形化處理,圖形化后的熱電極經通孔連接形成熱電堆,該熱電堆不僅制備流程簡單,且尺寸小成本低,有較高的靈敏度以及快速響應等優(yōu)點,可實現(xiàn)冷熱端溫度的實時監(jiān)測,具有高性價比和實用性。
聲明:
“柔性薄膜熱電堆及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)