本發(fā)明公開(kāi)了一種藍(lán)寶石拋光工藝,包括如下步驟:原料預(yù)處理、精磨、拋光、清洗和測(cè)試等,該藍(lán)寶石拋光工藝,該藍(lán)寶石拋光工藝,通過(guò)原料預(yù)處理和精磨工藝將原料表面經(jīng)行研磨,降低拋光時(shí)的難度,節(jié)約拋光時(shí)間,通過(guò)使用由三氧化二鋁制成拋光液硬度高,且在與藍(lán)寶石摩擦過(guò)程中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)從而使CMP有效進(jìn)行,穩(wěn)定性高,成本低,通過(guò)FA/O復(fù)合活性劑增加拋光液的穩(wěn)定性,提高拋光表面的平整性和工作效率,通過(guò)實(shí)驗(yàn),在壓力為4psi、轉(zhuǎn)速為60rpm/min和pH值為10時(shí),拋去的去除速率為6um/hr,當(dāng)壓力值為5psi、轉(zhuǎn)速為60rpm/min和pH值為10時(shí),拋去的去除速率為8um/hr,本發(fā)明的工藝流程簡(jiǎn)單,且同時(shí)節(jié)約成本,值得以后推廣。
聲明:
“藍(lán)寶石拋光工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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