本發(fā)明涉及砷化鎵光電陰極制備方法技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種低成本三代像增強器半導(dǎo)體光電陰極濕法處理方法,采用調(diào)節(jié)腐蝕過程中的化學(xué)試劑配比和腐蝕溶液的溫度,控制腐蝕的速率,腐蝕均勻,可以解決襯底殘留,腐蝕不徹底的問題。同時,腐蝕速率分段控制,適當加快砷化鎵外延片濕法處理的效率,提高生產(chǎn)率速率,解決砷化鎵外延片襯底腐蝕不干凈、殘留、表面粗糙的問題。一種低成本三代像增強器半導(dǎo)體光電陰極濕法處理方法,S1、采用千分尺測量陰極組件襯底腐蝕前的高度h1,通過高度變化差,定量判斷襯底腐蝕結(jié)束時間;S2、采用超聲波清洗機,頻率40KHz,分別用異丙醇及去離子水對K9玻璃作為窗口玻璃的砷化鎵陰極組件進行除油、清潔。
聲明:
“低成本三代像增強器半導(dǎo)體光電陰極濕法處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)