一種亞微米球頭電極制備裝置及方法,屬精密微細(xì)制造、測量領(lǐng)域。本發(fā)明運(yùn)用液膜脈沖
電化學(xué)加工方法可制備出表面質(zhì)量好的亞微米探針,并在此基礎(chǔ)上,通過瞬間微放電熔融、冷凝過程制備出亞微米球頭工具電極。
聲明:
“亞微米球頭電極制備裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)