本發(fā)明涉及一種適用于原子力顯微鏡(AFM)的金屬探針制備方法,具備成本低、成功率高、針尖用途廣泛等優(yōu)點。制作的主要步驟:第一,
電化學(xué)刻蝕金屬絲,獲得末端尖銳的針尖;第二,采用硅片或多晶藍寶石片壓平靠近針尖末端的金屬絲,壓平的部分將作為AFM探針的懸臂;第三,將針尖末端彎折一定角度,彎折的部分將作為AFM探針的針尖;第四,用膠水將懸臂粘接到特定的基片上。這種方法可以制作金、銀等多種材料的金屬探針,末端尖銳,導(dǎo)電性能好,適用于AFM、基于AFM的各種電學(xué)測量技術(shù)(比如靜電力顯微鏡)以及基于AFM的針尖增強拉曼光譜技術(shù)等。
聲明:
“適用于原子力顯微鏡的金屬探針制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)