本發(fā)明涉及一種新的低應(yīng)力的各向同性有機(jī)物填充的裝置及方法,屬于探測器微細(xì)加工技術(shù)領(lǐng)域。該方法在熱釋電陶瓷網(wǎng)格化后的溝槽內(nèi),通過化學(xué)氣相沉積的工藝,填充聚對二甲苯(Parylene)。通過控制沉積溫度、腔體壓力、時(shí)間等參數(shù),實(shí)現(xiàn)了溝槽的各向同性有機(jī)物填充。填充的有機(jī)物厚度可控,無空洞,應(yīng)力低,保持了溝槽原有的形狀,膜層厚度均勻,有利于后續(xù)的加工。經(jīng)過本發(fā)明方法填充的熱釋電陶瓷,在350℃的后續(xù)工藝高溫仍然不開裂,易于推廣應(yīng)用。
聲明:
“低應(yīng)力的各向同性有機(jī)物填充的裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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