本發(fā)明涉及基于表面等離子體共振的光學(xué)加速度傳感器。該加速度傳感器包括表面等離子體共振折射率傳感器和氣體膜盒。利用氣體膜盒作為第一級加速度敏感元件,將輸入的加速度變化轉(zhuǎn)化為新型氣體膜盒內(nèi)傳感氣體的折射率變化,通過表面等離子體共振折射率傳感器測量出折射率的變化,該折射率變化與輸入加速度的大小成正比。本發(fā)明將在生物、化學(xué)傳感領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的SPR傳感技術(shù)與新型氣體膜盒相結(jié)合,應(yīng)用于加速度傳感中,具有靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單等特點。
聲明:
“基于表面等離子體共振的光學(xué)加速度傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)