本實用新型涉及一種碳?xì)直匦阅艹掷m(xù)性監(jiān)控裝置,屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,裝置包括碳?xì)直赝昂玩u錸熱電偶,碳?xì)直赝鞍ㄌ淄埠蜖t殼,爐殼套裝于套筒外側(cè),爐殼內(nèi)安裝鎢錸熱電偶,鎢錸熱電偶連接無紙記錄儀。本實用新型可不間斷對碳?xì)直匦阅苓M(jìn)行監(jiān)控,方便、精準(zhǔn)的測量不同部位的碳?xì)直財?shù)據(jù),數(shù)據(jù)科學(xué)、準(zhǔn)確、誤差少,確保產(chǎn)品及設(shè)備安全。
聲明:
“碳?xì)直匦阅艹掷m(xù)性監(jiān)控裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)