本實(shí)用新型提供一種排氣管路,用于化學(xué)氣相淀積設(shè)備,包括:歧管;第一管路,一端與所述歧管相連;以及第二管路,一端與所述歧管相連;其中,所述第二管路的一端具有一延伸部延伸至所述歧管內(nèi)部,所述延伸部的末端接近所述歧管的出氣口。所述第一管路內(nèi)的氣體與所述第二管路內(nèi)的氣體方向一致,而避免由于兩股氣體對(duì)沖而導(dǎo)致的氣體回流現(xiàn)象,保證TiN薄膜的質(zhì)量,且所述第二管路內(nèi)的氣體不會(huì)直接沖擊壓力表,壓力表可準(zhǔn)確測(cè)量出反應(yīng)腔內(nèi)的壓力,并延長(zhǎng)壓力表的使用壽命。
聲明:
“排氣管路” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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