本實用新型提供一種滲劑發(fā)生器,包括從里到外配套設(shè)置的反應(yīng)罐,加熱層,保溫層和滲劑發(fā)生器外壁,和設(shè)于反應(yīng)罐頂部開口端的密封蓋,以及設(shè)于反應(yīng)罐內(nèi)部的布風(fēng)板;密封蓋貫穿固定有測溫管道和氣源導(dǎo)入管道;反應(yīng)罐內(nèi)部設(shè)有布風(fēng)板,布風(fēng)板橫截面尺寸與反應(yīng)罐橫截面尺寸匹配;反應(yīng)罐底部開口端與外界連通。本實用新型解決了化學(xué)氣相沉積法制備滲鋁或鋁和其它元素共滲涂層所需氣態(tài)滲劑的制備問題,并提供了制備氣態(tài)滲劑所需的滲劑發(fā)生器的結(jié)構(gòu)設(shè)計方案。
聲明:
“滲劑發(fā)生器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)