本發(fā)明的目的在于提供一種快速、無(wú)損檢測(cè)導(dǎo)電氧化物薄膜電學(xué)性能的方法,首先利用激光拉曼(Raman)光譜儀測(cè)定導(dǎo)電氧化物薄膜的特定光譜,將特定光譜進(jìn)行定量,定量方法可對(duì)拉曼的E
2high,AM和LO三種信號(hào)進(jìn)行準(zhǔn)確定量與區(qū)分,進(jìn)而間接解決了該三類(lèi)信號(hào)對(duì)應(yīng)的本征缺陷或非本征缺陷結(jié)構(gòu)難以定量的難題;接著將光譜定量數(shù)據(jù)與霍爾測(cè)試儀實(shí)際測(cè)到的電學(xué)數(shù)據(jù)進(jìn)行比對(duì)分析,得出對(duì)應(yīng)關(guān)系;最后根據(jù)對(duì)應(yīng)關(guān)系,就可以利用拉曼光譜儀這種無(wú)損檢測(cè)手段,快速測(cè)量出導(dǎo)電氧化物薄膜的電學(xué)性能,在檢測(cè)領(lǐng)域具有極大的應(yīng)用前景。
聲明:
“無(wú)損檢測(cè)導(dǎo)電氧化物薄膜電學(xué)性能的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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