本發(fā)明涉及一種基于趨膚效應(yīng)的樣品表面覆膜的無損檢測方法及系統(tǒng),包括采用頻率可變的交流信號(hào)作用于待測樣品的兩端;逐漸增加交流信號(hào)的頻率,檢測不同頻率的交流信號(hào)對(duì)應(yīng)的待測樣品兩端的電阻或電壓,并進(jìn)行曲線繪制獲取待測樣品的電阻-頻率曲線或電壓-頻率曲線;分析待測樣品的電阻變化量或待測樣品兩端電壓變化量隨頻率變化的規(guī)律,并計(jì)算或標(biāo)樣對(duì)比得到待測樣品覆膜的厚度。本發(fā)明的基于趨膚效應(yīng)的樣品表面覆膜的無損檢測方法及系統(tǒng),可對(duì)待測樣品進(jìn)行整體測量,檢測靈敏度較高,并且可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測量,檢測效率較高。另外,由于趨膚效應(yīng),高頻時(shí)材料表面的缺陷對(duì)高頻信號(hào)更敏感,通過改變交流信號(hào)的頻率還可以獲取鍍膜表面缺陷及裂紋深度分布信息。
聲明:
“基于趨膚效應(yīng)的樣品表面覆膜無損檢測方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)