本申請公開了一種石英坩堝無損檢測裝置,包括光源、鎮(zhèn)流觸發(fā)器和蓋板,其中,所述光源與所述鎮(zhèn)流觸發(fā)器相連接;所述蓋板的形狀與石英坩堝的形狀相匹配,所述蓋板的面積大于或等于所述石英坩堝的開口的面積;所述光源和所述鎮(zhèn)流觸發(fā)器設置于所述蓋板的中心部,且所述鎮(zhèn)流觸發(fā)器設置于所述蓋板的上表面以上,所述光源設置于所述蓋板的下表面以下。利用該裝置對石英坩堝進行內部結構缺陷檢測時,避免了涂抹顯影液等化學試劑帶來的雜質污染和效率低下的問題,還能準確的發(fā)現石英坩堝中的內部結構缺陷,因此能夠使得石英坩堝的檢測快速、準確且無污染。
聲明:
“石英坩堝無損檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)