本發(fā)明涉及一種用于無損測量薄層厚度的測量探頭,特別是空腔中的薄層,其通過開口可進(jìn)入或是在彎曲表面上的,該測量探頭具有測量頭(17),其包括至少一個傳感器元件(18)和分配到空腔(26)的待檢查表面(27)上的傳感器元件(18)上的至少一個接觸球冠(31),并具有抓握元件(12),用于在待檢表面(27)上和/或沿著待檢表面(27)定位和引導(dǎo)測量探頭(11),特征在于在抓握元件(12)上設(shè)置長的、彈性屈服的導(dǎo)桿(16),其在它的與抓握元件(12)相對的末端上接收至少一個測量頭(17,60),以這種方式,測量頭以相對于導(dǎo)桿(16)的至少一個自由度可移動。
聲明:
“用于對薄層的厚度進(jìn)行無損測量的測量探頭” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)