微波陶瓷元器件檢測夾具與裝置及其檢測方法,涉及一種元器件檢測裝置,提供一種適用性廣、無損傷、操作方便、重復(fù)性好、價格低的微波共面波導(dǎo)測試夾具、微波陶瓷元器件檢測裝置和檢測方法。夾具設(shè)有微波共面波導(dǎo)、樣品定位片、檢測探針架和SMA接頭。微波陶瓷元器件檢測裝置設(shè)有微波網(wǎng)絡(luò)分析儀、微波共面波導(dǎo)測試夾具、輸入同軸電纜和輸出同軸電纜。檢測方法的步驟為先后進行開路與短路校準(zhǔn)檢測和匹配負(fù)載校準(zhǔn)后,進行數(shù)據(jù)測量,再對被測元器件進行并接檢測和串接檢測,最后進入相應(yīng)測試軟件,對測試數(shù)據(jù)分析、計算、處理和保存。
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