本發(fā)明提出一種基于電阻法的金屬薄膜厚度測量方法,所述測量方法包括取得待測工件金屬薄膜的電阻值數(shù)據(jù)曲線的方法;所述電阻值數(shù)據(jù)曲線為反映金屬薄膜電阻值與金屬薄膜厚度對應關(guān)系的電阻?厚度標準曲線;在測量金屬薄膜厚度時,根據(jù)待測金屬薄膜的電阻值,從電阻?厚度標準曲線得到與該電阻值對應的金屬薄膜厚度;本發(fā)明操作簡單,所能測量的厚度范圍廣,且本方法屬于非接觸式測量,不會對待測樣品造成損壞,屬于無損檢測技術(shù)。
聲明:
“基于電阻法的金屬薄膜厚度測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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