本發(fā)明涉及一種非接觸式光學(xué)鏡面間隔測(cè)量裝置,包括:照明模塊、光纖模塊、兩個(gè)光纖準(zhǔn)直鏡頭、反射鏡、直線(xiàn)位移傳感器、光電探測(cè)器和機(jī)械調(diào)平臺(tái)。本發(fā)明提出的非接觸式光學(xué)鏡面間隔測(cè)量裝置的精度高,鏡片間隔測(cè)量精度可以達(dá)到±1μm,能滿(mǎn)足高精度光學(xué)系統(tǒng)的裝校要求;本發(fā)明采用光學(xué)相干測(cè)量的原理,測(cè)量過(guò)程中,沒(méi)有任何機(jī)械測(cè)量部件與被測(cè)鏡面接觸,不會(huì)對(duì)被測(cè)鏡片產(chǎn)生損傷,屬于非接觸無(wú)損測(cè)量;本發(fā)明自動(dòng)化程度高,將被測(cè)鏡頭放置在機(jī)械調(diào)平臺(tái)上,完成調(diào)平之后,整個(gè)測(cè)量過(guò)程就在軟件控制下進(jìn)行,而且,需要的測(cè)量時(shí)間很短,提高了測(cè)量效率。
聲明:
“非接觸式光學(xué)鏡面間隔測(cè)量裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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