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      激光探測集成電路內(nèi)部電平狀態(tài)的系統(tǒng)

      843   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
      2023-03-19 08:58:38
      本發(fā)明公開了一種激光探測集成電路內(nèi)部電平狀態(tài)的系統(tǒng),包括:連續(xù)激光器、光學(xué)模塊、物鏡、三維移動臺、測試機(jī)、光電探測器、放大器、信號分離器、信號提取器、控制計(jì)算機(jī)、移動臺控制箱;本發(fā)明利用激光穿過芯片背部硅襯底無損直接探測其內(nèi)部節(jié)點(diǎn)電平狀態(tài),時間分辨率高,可大面積二維掃描芯片,采用基于硅基半導(dǎo)體器件固有不對稱性的共光路探測方案,能實(shí)現(xiàn)集成電路內(nèi)部特定頻率工作點(diǎn)的定位和電平狀態(tài)變化波形提取。
      聲明:
      “激光探測集成電路內(nèi)部電平狀態(tài)的系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
      我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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