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      空氣耦合式的電容式微加工超聲換能器、制備方法及用途
      
					
      
					     747  
					    編輯：管理員  
						來源：中冶有色技術網(wǎng)  
						
      
							2023-03-19 08:58:49						
      
					
      
				
      
				
      
				    一種空氣耦合的電容式微加工超聲換能器、制備方法及用途，包括：換能器陣列中包括16個陣元，每個陣元由多個敏感單元組成，其中單個敏感元件的結構由上到下依次由：上電極1、振膜2、空腔3、以及基底5組成，基底作為下電極使用。所設計的換能器工作頻率為100kHz?2MHz。換能器陣列基于SOI鍵合工藝制作，振動薄膜材料是單晶硅，上電極為金或鋁，絕緣層4為二氧化硅或氮化硅，通過刻蝕低阻硅基底形成溝槽來分隔換能器的陣元，從而構成多陣元的陣列?？振钍匠晸Q能器以空氣耦合的方式激發(fā)金屬板或復合材料板中的超聲波，用于板內部缺陷的無損檢測。換能器與相控陣系統(tǒng)配合，對各陣元的脈沖驅動信號進行延時控制，實現(xiàn)聲束的相控偏轉、聚焦等調整，增大檢測自由度。				    
      
				        
      聲明：
      
				        
      
				         “空氣耦合式的電容式微加工超聲換能器、制備方法及用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
				        
      
				        
      
				        我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
				        
      
				    
      
				
      
				
				
      
					
      
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      標簽：
      
					 
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