本發(fā)明公開了一種硅基光波導(dǎo)和
石墨烯光電混頻器集成
芯片與制備方法,其結(jié)構(gòu)包括垂直耦合光柵、硅基光波導(dǎo)器件、硅基光波導(dǎo)和石墨烯光電混頻器;其中垂直耦合光柵為調(diào)制光信號輸入口、光信號通過硅基光波導(dǎo)輸入到硅基光波導(dǎo)器件進(jìn)行處理,處理后輸入到石墨烯光電混頻器,石墨烯光電混頻器對探測到的光信號進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換,柵電極為微波本振信號輸入口,微波本振信號與光電轉(zhuǎn)換后的信號進(jìn)行混頻得到中頻信號,中頻信號由漏電極輸出。本發(fā)明通過將石墨烯光電混頻器與硅基光波導(dǎo)器件進(jìn)行集成,可同時(shí)實(shí)現(xiàn)信號處理、探測和混頻功能,且集成后混頻效率更高;石墨烯光電混頻器采用基于HSQ的鈍化方法,工藝簡單,一次成形,對石墨烯無損傷。
聲明:
“硅基光波導(dǎo)和石墨烯光電混頻器集成芯片與制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)