本發(fā)明公開(kāi)了一種適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統(tǒng),包括有鎢銅靶板和探針組件。鎢銅靶板為鎢片、無(wú)氧純銅適應(yīng)層和鉻鋯銅基座焊接而成,鉻鋯銅基座內(nèi)被中間隔座隔分為兩個(gè)水冷管道,水冷管道與連接銅管、進(jìn)水銅管和出水銅管焊接連接而成。探針組件包括有探針頭、前端陶瓷圈、銅連接件、后端陶瓷圈、彈簧墊圈、頂緊螺釘、接線(xiàn)螺釘和導(dǎo)線(xiàn),安裝于鉻鋯銅基座內(nèi)的探針孔中,其中探針頭可采用鎢銅或純石墨結(jié)構(gòu)。本發(fā)明采用集成模塊化結(jié)構(gòu),充分利用靶板空間,可整體拆裝,無(wú)焊接固定結(jié)構(gòu),拆卸維修時(shí)對(duì)靶板無(wú)損壞的風(fēng)險(xiǎn);探針系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,空間分辨率更高;提高了探針系統(tǒng)測(cè)量精度。
聲明:
“適用于鎢銅靶板的集成模塊化探針系統(tǒng)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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