本發(fā)明公開了一種互連線失效檢測方法,包括,將至少兩個以上具有相同互連線規(guī)模的互連線單元串接起來構(gòu)成失效探測電路;向失效探測電路輸入測試電流,并測量失效探測電路兩端的電壓;如果所測得的電壓大于或等于設(shè)定電壓值時,則失效探測電路中出現(xiàn)互連線失效;將出現(xiàn)互連線失效的失效探測電路的輸入與輸出相連構(gòu)成惠斯通電橋;向惠斯通電橋輸入電流,測量惠斯通電橋的中點(diǎn)上的電流方向,并根據(jù)電流方向來定位失效互連線的位置。本發(fā)明互連線失效檢測方法不但能夠快速檢測到互連線失效的現(xiàn)象,還能夠快速定位出現(xiàn)失效的互連線位置。
聲明:
“互連線失效檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)