本發(fā)明提供一種重?fù)焦杵跆己康臏y(cè)試方法,包括:使用二次質(zhì)譜儀檢測(cè)一級(jí)標(biāo)樣的離子強(qiáng)度,計(jì)算出RSF值,利用RSF值計(jì)算出二級(jí)標(biāo)樣的碳氧元素濃度,與已知二級(jí)標(biāo)樣的碳氧元素濃度對(duì)比,在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)則利用此RSF值計(jì)算待測(cè)樣片的碳氧元素濃度。本發(fā)明的有益效果是有效的解決重?fù)焦杵砻嫜醭恋頃?huì)造成漏電,使器件失效、高密度的氧沉淀又會(huì)形成缺陷,對(duì)產(chǎn)品帶來一定的影響,而碳易與氧和缺陷構(gòu)成復(fù)合體,誘生產(chǎn)品缺陷;利用現(xiàn)有檢測(cè)法測(cè)試出來的碳氧元素濃度存在不確定性,不能確定RSF值是否準(zhǔn)確的問題。
聲明:
“重?fù)焦杵跆己康臏y(cè)試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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