本發(fā)明公開了一種利用Excel實現(xiàn)晶圓測試Summary標準化的方法,首先每個產(chǎn)品建立明確的失效項目表格和標準化的測試圖形母版(含標準參考點);然后利用Excel?VBA編程將探針臺原始文件轉換成測試圖形(含確定的參考點);再次利用Excel?VBA編程,計算參考點和標準參考點之間的差值,實現(xiàn)原始測試圖形和標準化測試圖形母版的參考點的重合,同時進行相關數(shù)據(jù)處理,生成和標準化測試圖形母版一致的圖形;最后根據(jù)失效項目表格對批量處理后的標準化圖形進行Summary信息提取統(tǒng)計,最終實現(xiàn)晶圓測試Summary的標準化。本發(fā)明實現(xiàn)了測試總數(shù)、失效項目等的嚴格統(tǒng)一,替換傳統(tǒng)的風格各異的Summary格式,適用于不同類型探針臺生成的測試圖形或不同測試代工廠提供的測試圖形等。
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